鈦強(qiáng)制循環(huán)泵具有優(yōu)良的耐腐蝕性能
鈦強(qiáng)制循環(huán)泵的電源是高內(nèi)阻電源
,其空載輸出電壓在3~7KV間,但負(fù)載電流大時(shí),輸出電壓降至400V左右。一般濺射離子泵使用5KV倍壓整流電源。可以用流過鈦強(qiáng)制循環(huán)泵陰陽極的放電電流反映所抽空間的真空度。循環(huán)泵在額定電壓與磁場(chǎng)強(qiáng)度下的放電電流Iion(mA)與壓強(qiáng)P(Torr)有一定的曲線關(guān)系。所以通過離子泵電源可反映出壓強(qiáng)的大小。泵電源的面板上顯示有:輸出直流高壓和鈦強(qiáng)制循環(huán)泵放電電流等
。